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本发明涉及一种器件转移设备及其制备方法、器件转移方法。器件转移设备中设置了容纳腔室来容纳固液相变材料，每个容纳腔室都有与之对应的电热转换件，利用电热转换件将电能转换为热能，向固液相变材料提供热量，使得固液相变材料熔化，流至与容纳腔室连通的吸嘴，同时又通过通气道在容纳腔室内形成负压，避免液体从吸嘴口滴落，从而实现了通过液体张力进行器件吸附的效果，摒弃了真空器件吸附方案，打破了真空管尺寸对被转移器件尺寸的限制，扩大了器件转移设备的应用场景。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112992759 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202011110589.2 (56)对比文件
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