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2023-06-11 发布于四川
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一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法.pdf

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本发明公开了一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法，所述齿轮动态啮合力检测薄膜传感器，包括：绝缘层，用于设置于齿轮基体表面；电极，电极溅射于绝缘层的表面；电极包括齿电极和轴电极，齿电极和轴电极通过导线电连接；压力敏感元件，包括：MoS2压阻薄膜；其中，MoS2压阻薄膜为弓形结构，MoS2压阻薄膜溅射于轮齿啮合齿面的绝缘层的表面；MoS2压阻薄膜与齿电极电连接。本发明的齿轮动态啮合力检测薄膜传感器，在齿轮啮合过程中，压阻薄膜受应力作用发生应变，电阻发生规律变化，输出性能稳定，具有一体化、超薄

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112985651 B (45)授权公告日 2022.04.22 (21)申请号 202110063419.1 (56)对比文件 (22)申请日 2021.01

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