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本发明公开了一种电容式角位移传感器及其转子,转子包括转子基体和感应电极,感应电极具有三测头或四测头的结构形式,传感器包括定子和转子,定子包括定子基体和激励电极,激励电极的A相激励信号引线与C相激励信号引线在激励电极的内侧组成双绞线,B相激励信号引线与D相激励信号引线在激励电极的外侧组成双绞线。双绞线的结构形式能消除引线串扰,从而减小干扰信号对测量精度的影响,保证测量精度;三测头或四测头的结构形式,能提高感应电极的面积利用率,增大了耦合电容值,从而提高了信噪比,并且对其输出信号进行数据融合,还可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113008128 A
(43)申请公布日
2021.06.22
(21)申请号 20191
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