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一种酚类聚合物及其制备方法和应用.pdfVIP

一种酚类聚合物及其制备方法和应用.pdf

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    本发明公开了一种酚类聚合物及其制备方法和应用，所述酚类聚合物可用作正型光致抗蚀剂组合物组分且兼具有优异的灵敏度，分辨能力，耐热性和耐干蚀刻性。本发明还公开了所述酚类聚合物的制备方法，将酚类化合物、含有苯环、联苯环或稠环结构的化合物、和脂肪族醛类化合物或多聚甲醛反应得到酚类聚合物。本发明还公开了由该酚类聚合物构成的正型光致抗蚀剂组合物。所述酚类聚合物分子结构中，酚类化合物与含有苯环、联苯环或稠环结构的化合物聚合的结构单元，酚类化合物和脂肪族醛类化合物或多聚甲醛聚合的结构单元分别连续地、彼此交替或者

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113004478 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 20191

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