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本发明实施例公开了一种图形化复合衬底、制备方法及LED外延片。该图形化复合衬底包括:图形化基底;图形化外延缓冲层,所述图形化外延缓冲层覆盖所述图形化基底,所述图形化外延缓冲层背离所述图形化基底的一侧形成有多个第一微结构,所述第一微结构包括第一异质材料结构,所述第一异质材料结构至少位于所述第一微结构的顶部。本发明实施例解决了图形化蓝宝石衬底在生长氮化镓外延层时仍存在晶格失配,外量子效率小,发光亮度低的问题,实现了增强光提取效率,改善外延生长质量的效果,有助于提高LED的外量子效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112993105 A
(43)申请公布日
2021.06.18
(21)申请号 20191
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