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本发明提出了一种基于测量光路多重反射的相位调制双零差干涉仪，通过多个分光器件将光路分为参考干涉光路与测量干涉光路两部分，并通过电光调制使得体现两路信号光程差的相位变化可以直接观测，其中在测量光路中采用光程倍增结构，使得入射到光程倍增结构中的光束在光程倍增结构中反射多次后原路返回。本发明所提供的干涉仪不需要用到双频激光器和偏振分光镜就能达到类似于外差干涉的效果，从而使得非线性误差大大减小，并且在测量光路中采用两个平面反射镜多次反射光路可以达到多倍光学细分的作用，从而使得干涉仪的分辨率大大增加。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112985623 B
(45)授权公告日 2021.07.27
(21)申请号 202110391840.5 G01B 9/02 (2006.01)
(22)申请日 2
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