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本发明涉及一种基于自动聚焦原理的曲面样品母线轮廓测量系统及方法，系统包括三轴电控平台、角位移台、非接触式传感器、激光干涉仪，方法，包括如下步骤：1)依据要求旋转样品，并将传感器移动至最佳测量位置；2)使用步进式方法水平移动样品，每次水平移动后依据非接触式传感器读数垂直移动传感器，使测量点保持在最佳测量位置附近；3)依据传感器移动后激光干涉仪读数与非接触式传感器读数获取测量点在垂直方向上高度值，依据设计的移动步距获得测量点在水平方向上距离值。4)依据获得的二维数据计算得到样品母线轮廓数据。本发明极
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112964198 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110386989.4
(22)申请日 2021.04.12
(71)申请人 天津大学
地址 30
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