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2023-06-11 发布于四川
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本发明公开了掩模版清洗液及掩模版的清洗方法。该掩模版清洗液包括非离子表面活性剂、脂肪酸酯和水，非离子表面活性剂选自脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧丙烯醚中的至少一种。根据本申请实施例的掩模版清洗液，至少具有如下有益效果：本方案以脂肪醇聚氧乙烯醚和/或脂肪醇聚氧丙烯醚作为表面活性剂，有效降低掩模版表面的张力；同时辅以脂肪酸酯作为润湿分散剂降低表面的电子活跃度从而使整体呈现相对稳定的态势。特定结构非离子表面活性剂的乳化能力与脂肪酸酯的稳定能力相互配合，将掩模版表面的雾状油污乳化成小颗粒后，配合清洗工具的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113009779 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110160957.2 (22)申请日 2021.02.05 (71)申请人深圳市路维光电股份有限公司

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