一种用于纳米压印设备的UV灯监测装置及其监测方法.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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一种用于纳米压印设备的UV灯监测装置及其监测方法.pdf

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本发明提出一种用于纳米压印设备的UV灯监测装置，包括：具有容纳腔的壳体，UV灯位于壳体内，在壳体内连接有导轨，在UV灯下方，与导轨滑动连接有滑杆，滑杆通过驱动装置驱动其沿导轨移动，在滑杆上连接有三个UV灯能量监测探头，还包括与UV灯能量监测探头以及驱动装置电性连接的控制系统。一种UV灯监测方法，包括以下步骤：S1、根据UV灯的尺寸在控制系统中设置滑杆移动的行程；S2、控制系统控制驱动装置驱动滑杆移动，在三个位置监测点A、B、C监测能量数据并反馈至控制系统；S3、控制系统计算并输出9点能量数据的各

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112985595 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110319177.8 (22)申请日 2021.03.25 (71)申请人青岛天仁微纳科技有限责任公司

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