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2023-06-11 发布于四川
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基板处理方法以及基板处理装置.pdf

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基板处理装置的喷嘴移动机构能够在从与基板(9)的上表面(91)的外周缘部(93)对置的最外位置至径向的内侧，使喷嘴部(31)接近上表面(91)并沿上表面(91)移动。在基板处理中，进行一边使喷嘴部(31)沿旋转的基板(9)的上表面(91)移动一边从喷嘴部(31)向上表面(91)喷出处理液的第一喷出动作、以及从停止在最外位置的喷嘴部(31)向旋转的基板(9)的上表面(91)喷出处理液的第二喷出动作。第二喷出动作中的基板(9)的转速比第一喷出动作中的转速高，或者/以及第二喷出动作中的处理液的喷出流量

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112997279 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201980073208.7 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

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