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本申请提供的对准方法、对准装置、对准设备及计算机存储介质,当第二晶圆上的标识点位于对准件的对准间距内,通过获取第一晶圆的第一变形量,根据第一变形量得出第二变形量,控制调整件以第二变形量形变,调整件形变时带动第二晶圆产生目标变形量,使得第二晶圆匹配第一晶圆的形变。在第二晶圆形变时,根据目标变形量得到第二晶圆上标识点的第一运动距离,当第一运动距离大于预设距离时,对准件对准标识点产生偏差或无法对准标识点,因此根据第一运动距离控制对准件相对标识点运动第二距离,以使标识点位于对准件的对准间距内,对准件重新
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112967965 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110273642.9
(22)申请日 2021.03.12
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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