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本发明公开了一种晶圆光刻用光罩组件,其结构包括固定座、锁定槽、筛光器,固定座内部与锁定槽为一体化成型,筛光器底面焊接于固定座顶面,本发明在光刻机进行抽入气流通风冷却的时候,可以通过冷却板来进风与排风,若在粉尘较多的工厂进行使用,则可以在通入气流的时候,首先令气流通过导气结构,在导气结构内通过气流的冲击力推动粘附柱进行旋转,使其快速转动,将气流内的粉尘类物质粘附,同时通过回流槽使气流再次回流,进行反复粘附,同时在气流输入的过程中将气流减速,并在气流继续输入的过程中使用吸附轮吸附金属颗粒,不仅避免了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112965337 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110225862.4
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 陈祎雯
地址 200
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