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本发明公开了一种固定宽度的单位方块电阻建模方法,所述建模方法根据实际测试数据分析方块数与方块电阻的关系,进而得到具体的电阻模型公式以调节电阻模型,从而得到最终的电阻模型,本发明解决了已有电阻模型无法兼顾小方块数电阻的难题,从而实现对同一宽度不同方块数的方块电阻模型可调,建立更精确的电阻模型的目的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112966387 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110274611.5
(22)申请日 2021.03.15
(71)申请人 上海华力微电子有限公司
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