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一种提高陶瓷表面孔形貌质量的激光加工方法.pdf

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本发明涉及一种提高陶瓷表面孔形貌质量的激光加工方法,属于激光加工技术领域,其特征在于:采用如下步骤,步骤s1:搭建激光加工系统;步骤s2:选取一块陶瓷基片置于丙酮中,将其用超声波清洗干净;步骤s3:取出陶瓷基片并用蒸馏水冲洗,再经压缩空气吹干,放入激光加工系统;步骤s4:设定短脉冲纳秒激光参数,用短脉冲纳秒激光对陶瓷基片表面以若干同心圆为轨迹进行填充式的孔加工。本发明以短脉冲纳秒激光为能量源,采用特殊的激光加工轨迹能显著提升陶瓷基片表面孔的形貌质量,为后续陶瓷基片表面金属化提供保障,保证陶瓷基板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112975167 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110118268.5 (22)申请日 2021.01.28 (71)申请人 上海

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