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2023-06-11 发布于四川
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气相外延方法，具有以下方法步骤：在反应腔中由外延气流的气相在衬底的表面或前面层上生长具有从n掺杂改变至p掺杂的掺杂变化曲线的III‑V层，该外延气流包括至少一个承载气体、用于III.主族中的第一前体和用于V.主族中的第一元素的至少一个第二前体并且被导入到反应腔中，其中，在达到第一生长高度时，借助于外延气流中的第一前体的第一质量流相对于第二前体的第二质量流的、导致p掺杂的比例并且在将用于n掺杂剂的第三前体的第三质量流添加至外延气流的情况下调设出n掺杂初始值，随后，第三质量流和/或第一质量流和第二质

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113005514 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202011353147.0 (22)申请日 2020.11.27 (30)优先权数据

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