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一种磁隧道结的制备方法及磁隧道结、磁电阻随机存储器,该磁隧道结包括:固定铁磁层(11)、自由铁磁层(12)以及设于所述固定铁磁层(11)和所述自由铁磁层(12)之间的磁隧道势垒(13);通过磁隧道势垒(13)包裹自由铁磁层(12)的侧面和相对固定铁磁层(11)的表面,或,磁隧道势垒(13)包裹固定铁磁层(11)的侧面和相对所述自由铁磁层(12)的表面,更有效地隔离自由铁磁层(12)与固定铁磁层(11),提升磁隧道结的良品率,而且,不需要用离子或等离子刻蚀的方法形成MTJ垂直的轮廓,降低制备工艺的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113016033 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 201880099442.2 (51)Int.Cl.
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