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本发明公开了一种晶圆光刻显影用装夹器，其结构包括外延板、固定装置、支撑腿，支撑腿焊接连接于外延板下端，固定装置活动卡合于外延板内侧；固定装置由夹持组件、开放槽、夹板、推出层组成，夹持组件活动卡合于开放槽内侧底端，夹板铆合连接于开放槽外侧，推出层嵌固连接于开放槽下端，利用与晶圆的外轮廓相匹配呈环绕分布于外环内侧的贴合板，当晶圆放入时会触碰到贴合板内的卡合垫表面将其向下挤压，在挤压的过程中橡胶垫会弯曲，而内侧的空气层收缩，同时会带动折叠板在活动钮的限定下转动，使得安装于活动钮上端的弹簧呈直角状，竖直
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113009791 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110225810.7
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 古英芳
地址 200
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