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本发明公开一种用于晶圆测试系统的光源调校系统以及光源调校方法。该晶圆测试系统包含一针测机台与一测试机台。该光源调校系统包含被设置在该晶圆测试系统中的一光源机以及分别与该针测机台、测试机台和该光源机电性连接的一主执行装置。该光源机提供测试一晶圆的光源。该主执行装置控制该针测机台,用以调整测试该晶圆的一测试高度,接着控制该测试机台,以从该测试机台取得该晶圆在该测试高度下的一影像测试数据。该主执行装置还分析该影像测试数据,以决定该光源机的光源设定参数,并且根据该光源设定参数,调校该光源机。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113035730 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202010391691.8
(22)申请日 2020.05.11
(30)优先权数据
108147648
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