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本发明属于光电位移精密测量技术领域,公开了一种可消除余弦误差的高精度直线位移测量装置,包括:读数头、标尺光栅、输出电缆。其中,读数头包含:横向传感器、纵向传感器、平行光源、处理电路;标尺光栅包括:横向码道、纵向识别标线。平行光源发出的光,照射到标尺光栅,将标尺光栅上的图案映射到读数头上的图像传感器上。横向传感器通过识别横向编码,得到横向的直线位移;纵向传感器通过识别纵向标线的位移变化量,得到纵向位移;处理电路,将横向位移和纵向位移合成,得到读数头移动的真实位移。通过采用二维位移量合成的方法,有效
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113029001 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202110289414.0 (56)对比文件
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