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本发明公开了一种超导电路制备方法,属于量子计算技术领域。所述制备方法包括:确定衬底上位于第一电元件和第二电元件之间的第一结区,及位于预先形成的第一导电板和第二导电板之间的第二结区;形成约瑟夫森结于第二结区,且约瑟夫森结的第一超导层和第二超导层与第一导电板和第二导电板一一对应电连接;将第一导电板和第二导电板接入检测电路以检测约瑟夫森结的电性参数,并判断电性参数是否符合目标参数范围;若是,切割分离约瑟夫森结与第一导电板和第二导电板,并将约瑟夫森结移至第一结区;形成连接第一超导层和第一电元件的第一连接
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113036030 B
(45)授权公告日 2022.04.12
(21)申请号 202110215894.6 H01L 39/22 (2006.01)
(22)申请日
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