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2023-06-12 发布于四川
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一种用于化学机械抛光的CeO2纳米颗粒及其制备方法.pdf

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本发明公开一种用于化学机械抛光的CeO2纳米颗粒及其制备方法，包括步骤1：将Ce(NO3)3·6H2O与熔盐体系按照摩尔比为1:(10～40)研磨混合，得到混合物；步骤2：将步骤1中的混合物倒入无水乙醇中搅拌均匀后倒入坩埚中，并置于干燥箱干燥得到混合盐；步骤3：将步骤2中的混合盐连同坩埚一起置于马弗炉中，以5℃/min的升温速率自室温升温至熔盐体系的烘焙温度，保温2～4h后自然冷却，取出反应产物经洗涤后得到白色沉淀物；步骤4：将步骤3中得到的白色沉淀物倒入离心管并置于离心机中离心洗涤，后经干燥研

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113044873 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202110410015.5 (22)申请日 2021.04.16 (71)申请人陕西科技大学

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