- 1、本文档共8页,其中可免费阅读7页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种改善碳化硅晶圆翘曲度的方法,通过在碳化硅晶圆背面进行干法刻蚀改善碳化硅晶圆翘曲度。所述方法包括如下步骤:S1.在碳化硅晶圆的正面进行离子注入;S2.在步骤S1得到的碳化硅晶圆的背面进行干法刻蚀;S3.将步骤S2得到的晶圆的正面进行后续光刻工艺。本发明通过在碳化硅晶圆背面进行干法刻蚀,补偿因离子注入等工艺引起的翘曲度增大,改善碳化硅晶圆的翘曲度,满足光刻对准工艺对翘曲度的严格要求以及降低半导体设备自动搬运晶圆过程中掉片、碎片等风险。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113035705 A
(43)申请公布日
2021.06.25
(21)申请号 20191
您可能关注的文档
- 定焦光学系统和定焦镜头.pdf
- 加热控制方法、装置、热水器和介质.pdf
- 显示屏控制装置和显示屏控制系统.pdf
- 一种含高相容性色素的黑色聚酰亚胺膜及其制备方法.pdf
- 一种阳极构建淀粉燃料电池的方法.pdf
- 一种基于PDMS的柔性银纳米线掺杂石墨烯/纳米镍铂复合电极在燃料电池中的应用.pdf
- 一种经济可循环的红枣红色素提取工艺.pdf
- 全景拼接高空监控镜头.pdf
- 一种多索茶碱中残留2-溴甲基-1,3-二氧戊烷的检测方法.pdf
- 一种月经不调症检查的方法.pdf
- 甘肃省白银市会宁县第一中学2025届高三3月份第一次模拟考试化学试卷含解析.doc
- 2025届吉林市第一中学高考考前模拟生物试题含解析.doc
- 四川省三台县芦溪中学2025届高三下第一次测试生物试题含解析.doc
- 2025届江苏省启东市吕四中学高三适应性调研考试历史试题含解析.doc
- 浙江省宁波市十校2025届高三二诊模拟考试历史试卷含解析.doc
- 甘肃省甘南2025届高考生物必刷试卷含解析.doc
- 河北省石家庄市一中、唐山一中等“五个一”名校2025届高考历史四模试卷含解析.doc
- 江西省南昌市进贤一中2025届高考生物考前最后一卷预测卷含解析.doc
- 甘肃省白银市会宁县第四中学2025届高三第二次模拟考试历史试卷含解析.doc
- 宁夏银川市宁夏大学附属中学2025届高考化学押题试卷含解析.doc
文档评论(0)