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即使工件未对准，也可以保持工件的高加工精度的激光加工设备，其包括：设定部，其在拍摄图像上设定图案区域和测距位置；条件设定存储部，其存图案区域中的图像信息；位置校正部，其检测与设定图案区域用的工件不同的新工件的未对准，并校正新工件上的测距位置；测距部，其基于测距光受光部中的测距光的受光位置来测量距离；以及Z扫描仪，其在利用激光照射工件之前，基于测距部的测量结果调整焦点位置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113042881 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202011547964.X B23K 26/082 (2014.01)
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