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本发明提供一种检测设备和单晶炉。检测设备应用于单晶炉,单晶炉包括炉体、密封炉体的密封件以及设置于炉体上的提拉软轴,提拉软轴的材料包括金属材料,提拉软轴与炉体之间密封且绝缘设置,且提拉软轴的一端延伸至炉体内部,另一端位于炉体的外侧;检测设备包括相互连接的执行模块、通信模块和电源模块,通信模块与提拉软轴电连接,且提拉软轴用于为通信模块传输信号。本发明实施例通过利用提拉软轴传输信号,通过有线传输的方式,克服了单晶炉的炉体对于信号的屏蔽,不需要多次开启和关闭单晶炉,此外,也不需要单独设置传输的信号线,不
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113049022 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110256410.2 G08C 19/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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