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2023-06-12 发布于四川
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一种提高掩膜电解加工精度的弧形喷射阴极移动装置及方法.pdf

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一种利用弧形喷射阴极移动提高掩膜电解加工精度的装置及方法，包括弧形阴极喷嘴结构、阳极工件、电解槽、电机、导轨、移动滑块、传动丝杠、支撑梁。阳极工件置于电解槽底部，完全浸没于电解液中，与阴极喷嘴形成导电回路。电机驱动传动丝杠转动，传动丝杠带动滑块及其上面的支撑梁沿着导轨做往复平移运动。弧形阴极喷嘴结构固定于支撑梁上，移动机构带动其位置变化。掩膜电解加工过程中采用弧形移动阴极达到改善加工过程中电场分布的目的，提高微结构的刻蚀均匀性。弧形阴极上喷射的电解液能够将微结构内的电解产物及时排出，增强传质，提

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113046803 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202110278891.7 (22)申请日 2021.03.16 (71)申请人大连理工大学地址

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