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在一个实施例中，一种器件包括：栅电极；与栅电极相邻的外延源极/漏极区；位于外延源极/漏极区上方的一个或多个层间介电(ILD)层；延伸穿过ILD层的第一源极/漏极接触件，第一源极/漏极接触件连接至外延源极/漏极区；围绕第一源极/漏极接触件的接触间隔件；以及设置在接触间隔件和ILD层之间的孔洞。根据本申请的其他实施例，还提供了形成半导体器件的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113054019 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202011629168.0
(22)申请日 2020.12.31
(30)优先权数据
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