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基于光纤内气敏膜的FP气压传感器及其制备方法.pdfVIP

基于光纤内气敏膜的FP气压传感器及其制备方法.pdf

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    本发明公开了一种基于光纤内气敏膜的FP气压传感器，包括单模光纤和石英毛细管光纤；所述石英毛细管光纤的一端与所述单模光纤连接，另外一端为密封端；所述石英毛细管光纤内设有气敏膜，所述气敏膜与所述单模光纤之间的石英毛细管光纤的一侧开有气孔，形成FP空气腔；所述气敏膜与所述密封端之间形成密封腔。本发明传感器的光纤FP空气腔的腔长和腔内气体折射率同时对气压敏感，且体积小、灵敏度高，其制备方法简单易行、成本低廉。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113029428 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202110337698.6 (56)对比文件

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