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本发明提供一种光刻用膜形成材料,其包含:具有式(0A)的基团和式(0B)的基团的化合物(式(0B)中,R各自独立地选自由氢原子和碳数1~4的烷基组成的组。其中,至少一个R为碳数1~4的烷基。)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113039177 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 201980075418.X (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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