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本发明公开了提供了一种制备掺稀土光纤的装置及方法。该制备工艺利用稀土螯合物在200℃左右便具备极高的饱和蒸气压，可以降低设备的复杂度，便于工艺控制；通过MFC调节载气He的流量控制稀土离子的浓度，实现精准掺杂；利用共掺剂三氯化铝在100‑200℃的高温下便具备极高的蒸气压，然而三氯化铝极易吸收水蒸气而潮解、腐蚀性强的特性，通过采用纯石英玻璃坩埚或者纯三氯化铝坩埚在衬管内部进行加热蒸发，通过调节温度控制三氯化铝的掺杂量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113024103 B
(45)授权公告日 2022.08.26
(21)申请号 202110385500.1 JP 2001151513 A,2001.06.05
(22)申请日
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