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2023-06-12 发布于四川
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工件的清洗装置以及清洗方法.pdf

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本发明提供一种工件的清洗装置以及清洗方法，在清洗后，能够抑制工件的背面中央部中的粒子附着量增加。工件的清洗装置具备：第1固定体（11），具有第1筒状部（11a）与盖部（11b）；第2固定体（12），在内部收纳第1筒状部（11a）；以及旋转体（13），第2筒状部（13a）配置在第1筒状部（11a）与第2固定体（12）之间，所述工件的清洗装置中具备：排气口（20），设置在第1固定体（11），用于将第1固定体（11）与旋转体（13）之间的空隙中的气体从空隙排出；排气管（21），配置在第1固定体（11）

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113053779 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202011551803.8 (22)申请日 2020.12.24 (30)优先权数据 2019-2365

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