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本发明属于光探测技术领域，具体涉及一种自驱动光电探测器，该自驱动光电探测器，由上至下依次包括导电银胶点电极、金属钯前电极、硒化锡纳米薄膜层、二氧化锡多层球壳结构薄膜层、硅单晶基底和金属铟背电极。二氧化锡多层球壳结构薄膜层通过水热法、煅烧法、丝网印刷技术等方法制备，硒化锡薄膜层由直流磁控溅射技术制备，器件表现出良好的自驱动光探测性能，稳定性好，从紫外到近红外区域都具有响应特性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113054055 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110258297.1
(22)申请日 2021.03.10
(71)申请人 中国
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