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转接板及其制备方法.pdfVIP

转接板及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种转接板及其制备方法，在基底的第一面上制备与TSV柱电连接的第一重新布线结构及第一射频信号传输结构，并在基底的第二面上制备与TSV柱电连接的第二重新布线结构及第二射频信号传输结构，且第二射频信号传输结构与第一射频信号传输结构对应设置，以通过第一射频信号传输结构、TSV柱及第二射频信号传输结构形成直线型信号传输路径；从而本发明的转接板可形成具有不同信号传输路径的分区，以满足不同信号在转接板中的传输需求，以提供合适的传递通道，降低信号传输损耗。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113035834 B (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202110588078.X H01L 23/66 (2006.01)

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