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有机膜形成材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及化合物.pdfVIP

有机膜形成材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及化合物.pdf

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    本发明涉及有机膜形成材料、有机膜的形成方法、图案形成方法、以及化合物。本发明提供用以形成兼顾高程度的填埋特性/高程度的平坦化特性/和基板间的优良的密合力的有机膜的有机膜材料。提供含有下列通式(1)表示的化合物及有机溶剂的有机膜形成材料。该通式(1)中，X为碳数2～50的n1价的有机基团，n1表示2～10的整数，R1为下式(2)～(4)中的至少一者以上；该通式(3)中，l1表示0或1；该通式(4)中，l2表示0或1。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113050373 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202011564357.4 C07D 307/88 (2006.01)

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