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一种用于芯片固定的真空吸附装置,包括固定座、安装架、垫片、吸附面板和气管,一个或多个垫片垫在安装架的支撑部与安装架的下表面之间,吸附面板安装在安装架的上表面,并且吸附面板与安装架之间为柔性连接;吸附面板的上表面布满有单元吸附槽。由于吸附面板上布满单元吸附槽,使得吸附面板上各区域的真空吸附力更为均衡,提高了芯片真空吸附固定的稳定性,也避免了局部吸附力不均匀导致的芯片变形;吸附面板与安装架之间为柔性连接,避免了刚性连接带来的冲击,避免了芯片的变形;在吸附面板与安装架的支撑部之间通过插入垫片的方式调节
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113021209 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 201911343802.1
(22)申请日 2019.12.24
(71)申请人 长春
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