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本发明公开了热丝装置以及HWCVD设备，其中，热丝装置，可设置在HWCVD设备的镀膜腔内，包括：热丝和保持部。所述热丝在所述镀膜腔内水平地延伸。所述保持部保持所述热丝并使所述热丝沿长度方向可延伸。根据本发明的热丝装置，由于能够热丝在镀膜腔内水平地延伸，因此能够在镀膜对象物水平放置的状态下对其进行镀膜。由于镀膜对象物无需通过例如盖板等的固定件固定到托盘上，因此能够减少镀膜对象物被遮蔽的面积，进而能够至少一定程度上扩大镀膜对象物的镀膜面积。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113046717 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110223366.5
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有
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