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本发明公开了一种伸缩电极反应装置与PECVD设备，伸缩电极反应装置包括反应管组件、电极组件与驱动组件，反应管组件包括管体与端盖，端盖连接于管体的后端；电极组件包括电极杆与电极头，电极杆连接于端盖，并能够相对端盖沿管体的轴向移动，电极头位于管体内，且与电极杆电连接；驱动组件包括动力件、第一弹性件与第一连接件，动力件连接于端盖，第一连接件连接于电极杆，第一弹性件连接于动力件的输出轴与第一连接件之间。上述伸缩电极反应装置中，当电极头与石墨舟发生接触后，随着动力件的进一步驱动，第一弹性件将发生弹性变形，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113046729 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110382652.6
(22)申请日 2021.04.09
(71)申请人 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有
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