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本公开的各实施例涉及具有改进的光电均匀性的电吸收调制器。公开了一种集成的电吸收调制器(EAM),其被构造和/或操作以改进沿有源区的光电流密度的均匀性。在各种实施例中,这种改进是由于增加了EAM的后部处的光吸收,例如是通过加热后部区、增加跨EAM施加朝向后部的偏置电压,或改变朝向后部的本征层的材料组成而实现的。在另一实施例中,通过使用波导的锥形区段和EAM之间的重叠,沿着EAM的长度连续地将来自波导的光耦合到EAM有源区中来实现该改进。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113050304 A
(43)申请公布日
2021.06.29
(21)申请号 20201
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