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传感器薄膜结构及其制造方法.pdfVIP

传感器薄膜结构及其制造方法.pdf

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    本发明提供了一种传感器薄膜结构及其制造方法，该结构包括：基板、第一绝缘层以及装置层。基板具有第一表面以及与前述第一表面相对的第二表面，其中前述第一表面形成有空腔，前述第二表面形成有开口，且前述空腔与前述开口连通。前述空腔和前述开口沿垂直于前述第一表面的方向贯穿前述基板。第一绝缘层设置于前述基板的第一表面上。装置层设置于前述第一绝缘层上。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113044801 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202010823968.X (22)申请日 2020.08.17 (30)优先权数据 108148011

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