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本发明提供了一种高频响精密测力装置，用于浸没式光刻设备，包括顶部结构件、浸没结构件、承力单元、导向结构、测力组件以及支撑框架；顶部结构件位于所述浸没结构件的上方,流体介质在浸没结构件中流动中产生扰动力,承力单元位于浸没结构件的下方；导向结构包括导向结构本体和运动件，所述导向结构本体围设在所述承力单元的外围，其底部与支撑框架固定,运动件位于导向结构本体靠近承力单元的一侧；测力组件与承力单元接触连接，用于获取浸没结构件中流体介质的扰动力。本发明提供的一种高频响精密测力装置，解决了基于单个传感器的结构
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113049173 B
(45)授权公告日 2022.07.01
(21)申请号 201911382681.1 G01M 10/00 (2006.01)
(22)申请日 2019.12
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