- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明实施例属于半导体结构作技术领域,具体涉及一种半导体结构制作方法及半导体结构。本发明实施例旨在解决相关技术中制作缝隙过程复杂的问题。制作方法具体包括:在基底上形成位线结构;每一位线背离基底的一侧具有绝缘块;在绝缘块背离基底的顶部形成遮挡部,遮挡部在基底的投影面积大于绝缘块在基底上的投影面积;在位线和绝缘块的侧壁上形成绝缘侧壁,遮挡部对应的绝缘侧壁内形成向基底延伸的缝隙。由于遮挡部在基底的投影面积大于位线结构在基底上的投影面积,在形成绝缘侧壁的过程中,遮挡部和基底之间的区域会提前封口,进而在遮
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113053808 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 202110290442.4 H01L 21/8242 (2006.01)
(22)申请日 2021.
文档评论(0)