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本申请公开了一种光罩清洗装置，包括：外壳及清洗单元。所述外壳包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，且所述外壳具有一腔室。清洗单元包括压缩机和至少两个位于第一支撑板和第二支撑板之间的离子风棒；离子风棒和压缩机相对设置于所述腔室的两端，使得光罩清洗装置内的风向为从离子风棒至压缩机；离子风棒包括第一离子风棒和第二离子风棒，其中第一离子风棒靠近第一支撑板设置，第二离子风棒靠近第二支撑板设置。所述光罩清洗装置能对光罩进行高效率的吹洗，且不易破坏光罩表面薄膜保护层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113042457 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110269999.X G01V 9/00 (2006.01)
(22)申请日 20
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