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双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置及加工方法.pdfVIP

双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置及加工方法.pdf

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    本发明实施例公开了双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置及加工方法，该装置包括光束处理组件、分束组件以及透镜，光束处理组件与分束组件连接，分束组件以及光束处理组件分别设于透镜的上方，光束处理组件设于分束组件的上方。本发明实施例通过设置光束处理组件、分束组件以及透镜，由激光器发射的激光光源垂直入射至光束处理组件，经由光束处理组件处理后，由分束组件进行分束形成双光束后，经过透镜聚焦后在样品的表面上进行孔的加工，采用常规通用的光学元件，实现结构简单，成本低，通用性强，实用方便的锥度可控的钻孔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113020821 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 202110466702.9 (22)申请日 2021.04.27 (71)申请人 英诺激光科技股份有限公司

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