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本发明提供一种静电驱动式微镜,包括依次设置的器件结构层、二氧化硅层和基底层,所述基底层朝向所述器件层的一侧具有背腔,所述背腔内设有至少一个台阶结构,所述器件层包括固定框架、可动结构和固定锚点,所述固定框架具有镂空区域,所述可动结构和所述固定锚点位于所述镂空区域内,所述可动结构与所述固定锚点相连;所述台阶结构具有平行于所述器件层的第一台阶面,所述可动结构具有平板梁,所述平板梁在所述基底层的投影与所述第一台阶面部分重叠。该发明微镜采用背腔台阶结构,能够增大微镜的驱动力,且制作方法简单,缩短生产时间,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113031251 A
(43)申请公布日
2021.06.25
(21)申请号 20191
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