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本发明公开了一种微镜,所述微镜包括第一晶圆和第二晶圆,第一晶圆和第二晶圆键合成整体;所述第一晶圆表面设有空腔,所述第二晶圆表面设有至少一层器件层,所述器件层上设有若干金属层;所述第一晶圆具有所述空腔的表面设有二氧化硅薄膜,或者所述第二晶圆与所述第一晶圆连接的表面设有二氧化硅薄膜。本发明还公开了一种空腔具有倾斜面的微镜。本发明还公开了多种用于制作上述微镜的方法。采用本发明,具有不需要对晶圆进行倒置,也不需要制备额外保护层保护已加工完成的器件层,还可同时加工背腔与器件层,降低了成本,缩短了生产时间,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113023661 A
(43)申请公布日
2021.06.25
(21)申请号 20191
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