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本发明涉及一种碳碳化硅复合粉末及其制备方法和用途,所述制备方法包括如下步骤:(1)按照目标质量比例准备碳粉和碳化硅粉并混合均匀,得到碳碳化硅混合粉;(2)将步骤(1)所述碳碳化硅混合粉与粘结剂、分散剂以及水混合均匀,得到碳碳化硅料浆;(3)将步骤(2)所述碳碳化硅料浆进行喷雾造粒,得到碳碳化硅复合粉末。采用本发明所述制备方法得到的碳碳化硅复合粉末具有粒度均匀、流动性良好、成形性优异等优点,可以用于制备碳碳化硅靶材,并有效保证了碳碳化硅靶材的致密度,以及靶材表面的光滑均匀。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113024255 B
(45)授权公告日 2022.07.29
(21)申请号 202110349418.3 C04B 35/565 (2006.01)
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