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本发明公开了一种基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具及其清洗方法、激光清洗机，耐辐射激光清洗照射具包括气动振镜组件、准直器组件、平面场镜组件以及密封激光光路的壳体组件，其中：气动振镜组件包括气动振动器、转动装配于气动振动器的振动轴上的转动件，端部与转动件滑动连接的摇杆以及固定于摇杆摆动轴上随其摆动的振镜，其中振动轴在由进气管通入的压缩空气驱动伸缩，气动振动器的尾气通过尾气排放管排出，振镜的反射面分别与准直器组件的准直镜和平面场镜组件的平面场镜相对准以反射激光光束。本发明振镜摆动稳定，适用于高剂量
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113042460 A
(43)申请公布日
2021.06.29
(21)申请号 20191
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