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本发明涉及芯片与人工智能系统技术领域，尤其涉及一种基于芯片与智能制造的微电子气体分析系统及方法。本发明包括底板，所述底板上表面固定有检测仓，所述底板上表面固定有移出装置，所述移出装置顶部固定有固定装置，所述固定装置内壁夹持有气瓶，所述移出装置一端固定有密封门，所述检测仓顶部固定有顶架，所述顶架中部固定有切换装置，所述检测仓顶部一端固定有检测管，所述检测仓一侧固定有抽真空接头，所述检测仓内壁顶部固定有放气装置。本发明在检测时，气体不泄露，在检测完成后，通过真空泵抽出，防止气体泄漏，可对四种不同的气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113049756 B
(45)授权公告日 2022.05.13
(21)申请号 202110338512.9 审查员 董志勇
(22)申请日 2021.03.30
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