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本发明公开了一种集成电路外延层扩展电阻测试仪，属于半导体领域，包括底座，所述底座上设置有气浮减震台，所述气浮减震台上设置有产品调节台和探针调节台，所述产品调节台上设置有样品测量台，所述探针调节台上设置有探针，所述产品调节台包括第一水平滑台和第二水平滑台上，所述第一水平滑台使得所述样品测量台沿着x方向移动，所述第二水平滑台使得所述样品测量台沿着y方向移动，所述探针调节台包括垂直滑台，所述垂直滑台使得所述两个探针沿着z方向移动；所述探针连接有测量电路，所述测量电路包括电压源和电流表。本发明成本低，测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113049881 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110380476.2
(22)申请日 2021.04.09
(71)申请人 中国电子技术标准化研究院
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