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本发明公开了一种基于白光干涉法的微光纤直径测量方法,包括:搭建卧式白光干涉光路;将微光纤夹装在夹具后固定到三维载物台上;移动三维载物台,使白光干涉光路的成像位置在微光纤前侧;将夹装好的待测微光纤进行加热;设置伺服位移系统的位移参数,启动位移系统,利用白光对待测微光纤进行定时定距离的垂直扫描;扫描之后的反射光入射到CCD;对获得的图像进行处理分析,计算出加热拉伸过程中微光纤的直径。本发明通过搭建卧式白光干涉光路实现微光纤直径的测量,准确计算出微光纤在加热拉伸过程中直径变化;检测过程无接触无损坏,不
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113029015 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110254034.3
(22)申请日 2021.03.09
(71)申请人 南京大学
地址 21
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