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本发明涉及一种湿度可调的动态气体稀释仪和含湿标气配置方法,包括抽气泵、除烃器、加湿器、湿度测量模块等核心部件。通过在加湿稀释气和干燥稀释气混合管路后增加除烃器,对稀释气进行除烃处理,可对不同类型的稀释气和水中的有机物进行去除;通过加湿器给稀释气加湿,通过干燥气流量控制器和加水稀释气流量控制器相互配合,在二者总流量不变的情况下,控制干燥气和含湿稀释气的比例,从而对稀释气湿度进行调节,通过湿度测量模块测量湿度,并反馈调节干、湿稀释气的流量,实现标气湿度可调。本发明既可对稀释气除烃,也可对稀释气加湿,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113029740 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110241557.4 B01D 53/44 (2006.01)
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